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MEMS 二氧化氮傳感器GM-102B

MEMS 二氧化氮傳感器GM-102B

MEMS 二氧化氮氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時傳感器電導率發(fā)生變化,該氣體的濃度越高,傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。

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主要應用

  • 便攜式與固定式二氧化氮檢測儀

產品特點

  • 11 11 采用MEMS工藝,結構堅固,對二氧化氮靈敏度高
  • 22 22 尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快
  • 33 33 驅動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長

技術指標

產品型號GM-102B
產品類型MEMS二氧化氮氣體傳感器
標準封裝陶瓷封裝
檢測氣體二氧化氮
檢測濃度0.1-10ppm(NO2)
標準電路條件回路電壓Vc≤24V  DC
加熱電壓VH2.0V±0.1V ACorDC
負載電阻RL可調
標準測試條件下氣敏元件特性加熱電阻RH80Ω±20Ω(室溫)
加熱功耗PH≤40mW
敏感體表面電阻Rs10KΩ-1000KΩ(in 2ppm NO2)
靈敏度SRo(in air)/Rs(in 2ppm NO2)≤0.5
標準測試條件溫度、濕度20℃±2℃;55%±5%RH
標準測試電路Vc:5.0V±0.1V;      VH:2.0V±0.1V


注:產品參數(shù)如有變動,恕不另行通知


產品尺寸

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